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產(chǎn)品名稱(chēng):
LINDA橫浜油脂_DL-P1_光刻膠顯影液
產(chǎn)品型號(hào):
DL-P1
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
LINDA橫浜油脂_DL-P1_光刻膠顯影液
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LINDA橫浜油脂_DL-P1_光刻膠顯影液
的詳細(xì)介紹
LINDA橫浜油脂_DL-P1_光刻膠顯影液
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LINDA橫浜油脂_DL-P1_光刻膠顯影液
レジスト剝離剤
パターニング後のフォトレジストの剝離。
製品名
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使用溫度
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使用濃度
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pH
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特長(zhǎng)
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EP-10
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常溫~60℃
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原液
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12.5
(原液)
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準(zhǔn)水系タイプ。高い剝離力を維持。洗浄裝置及びCFタンクの洗浄にも使用可能。
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レジスト現(xiàn)像液
レジスト、カラーレジストの現(xiàn)像用。
製品名
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使用溫度
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使用濃度
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pH
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特長(zhǎng)
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DL-A4
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常溫~40℃
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5~10%
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11.4
(原液)
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レジスト溶解力が高い無(wú)機(jī)アルカリタイプ。短時(shí)間でのレジスト除去が可能。
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DL-T25
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常溫~60℃
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5~20%
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12.7
(5%)
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金屬イオンを含まない有機(jī)アルカリタイプ。レジスト溶解力が高い。
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DL-A10
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常溫~40℃
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1~5%
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11.7
(1%)
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無(wú)機(jī)アルカリ強(qiáng)力タイプ。非常に優(yōu)れた現(xiàn)像力を発揮。
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DL-P1
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常溫~40℃
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10~30%
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12.6
(20%)
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アルミ対応の無(wú)機(jī)アルカリタイプ。レジスト溶解力が高い。
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EBR用洗浄剤
カラーレジスト塗布時(shí)、基板端面などに付著したレジストの除去。
製品名
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使用溫度
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使用濃度
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pH
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特長(zhǎng)
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CR-2
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常溫~40℃
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5~20%
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13.0
(5%)
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活性剤を含まないタイプ。希釈して使用するため、ランニングコストを軽減。
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現(xiàn)像液用消泡剤
レジスト、カラーレジストの現(xiàn)像、剝離時(shí)の消泡。排水時(shí)の消泡にも使用可能。
製品名
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使用溫度
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使用濃度
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pH
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特長(zhǎng)
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EL-30
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常溫~60℃
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20ppm~
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5.5
(原液)
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ノンシリコンタイプの消泡剤。レジスト現(xiàn)像、剝離工程での消泡に*適。
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クロムエッチング液
クロムブラックマトリックス、ガラスマスクのパターニング。
製品名
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使用溫度
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使用濃度
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pH
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特長(zhǎng)
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ファイン
?エッチ
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常溫~50℃
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原液
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2以下
(原液)
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エッチングレートが高く、長(zhǎng)期間使用が可能。
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