IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型
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產(chǎn)品名稱:
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型
產(chǎn)品型號(hào):
TC系列
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
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簡(jiǎn)單介紹
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型 TC系列，專為半導(dǎo)體工藝設(shè)計(jì)的清洗液循環(huán)、CMP漿液輸送、高純度化學(xué)液供給泵。
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型
的詳細(xì)介紹
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型 TC系列 產(chǎn)品特點(diǎn)：
完全自吸，無(wú)需自吸
也可以輸送與空氣混合的液體?？捎糜谖Α⑴潘?、推力
由于它以壓縮空氣為動(dòng)力，因此不需要特殊的防爆措施。也不會(huì)因過(guò)載而發(fā)熱
高壓排放并且壓力易于控制
通過(guò)改變氣室結(jié)構(gòu)，空氣消耗量較之前型號(hào)顯著降低50%
TCT 型是一款專為半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)的氟樹(shù)脂氣動(dòng)隔膜泵
IWAKI易威奇/氣動(dòng)隔膜泵/氟樹(shù)脂型 TC系列 產(chǎn)品參數(shù)：
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*大吐出量範(fàn)囲
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11?150L/min
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*高吐出圧力範(fàn)囲
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0.5?0.7MPa
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*大エアー消費(fèi)量範(fàn)囲
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170?1500NL/min (ANR)
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供給エアー圧力範(fàn)囲
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0.2?0.7MPa
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主要材質(zhì)
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PTFE（ダイヤフラム、ボールバルブ、バルブシート）
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液溫範(fàn)囲
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0?80℃（機(jī)種により異なります。）
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粘性液
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2500mPa·s（詳細(xì)はお問(wèn)合せください。）
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スラリー液
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詳細(xì)はお問(wèn)合せください。
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シール方式
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シールレス
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