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KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機
產(chǎn)品型號: 7979BK
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹


KAIJO楷捷_超聲波精密清洗機  的詳細介紹

產(chǎn)品描述：

KAIJO楷捷_7979BK_超聲波精密清洗機

ＵＳシャワー（両面対応）超音波洗浄機

ＬＣＤ?ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構(gòu)造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従來のＵＳシャワーに比べ、約５倍の超音波強度（當(dāng)社比）が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式ＬＣＤ洗浄裝置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μｍ以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波（９５０ｋＨｚ）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックＵＳシャワースペック



項目 仕様
型名 6879BK 7979BK 78BK30-660
許容入力 ６００Ｗ ９００Ｗ １２００Ｗ
公稱共振周波數(shù) ９５０ｋＨｚ
有効洗浄寸法 ３３０ｍｍ ４９５ｍｍ ６６０ｍｍ
所用水量 ２０～２５?／分 ２０～３０?／分 ４０～４５?／分
ケース材質(zhì) ＳＵＳ３１６Ｌ
振動板材質(zhì) ＳＵＳ３１６Ｌ
接液部 複合電解研磨処理
*高使用溫度 ７０℃
コード長 振動子用：５Ｍ２本 振動子用：５Ｍ３本 振動子用：５Ｍ４本
センサー用：５Ｍ１本 センサー用：５Ｍ１本 センサー用：５Ｍ２本
保護回路 液面センサー（テフロン）
ＦＵ９３（キーエンス）
重量 ５㎏ ６㎏ ７㎏

＊上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

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