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KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機

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產(chǎn)品名稱: KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機
產(chǎn)品型號: 7356VS
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹


KAIJO楷捷_振動器/兆聲波晶圓清洗機  的詳細介紹

KAIJO楷捷_7356VS_振動器/兆聲波晶圓清洗機

使い易さにこだわった　フェニックスⅢシリーズ

このフェニックスⅢはこれらの“面倒な手間と費用”を大幅に削減できます。
“こんな洗浄機があったら?。俊挨?qū)g現(xiàn)した、*新の機能満載の超音波洗浄機です。
しかも、洗浄シーンを知りぬいたカイジョーのノウハウをつぎ込んでいます。


○　高洗浄力で定評のフェニックスのノウハウを継承
○?。茫校罩朴螔裼盲侵懿〝?shù)制御機能が向上
○　高度な動作管理/レシピ対応が可能
○　洗浄機の管理機能を搭載、しかも外部端子付
○　製造方法を見直し、性能をＵＰさせ価格はDOWN
○　価格が下がっても、洗浄性能や耐久性はしっかり確保！

■フェニックスⅢ組合


周波數(shù) 出力 組合型名 発振器名 洗浄槽型名 投込振動子型名
３８ｋＨｚ ６００Ｗ CA-64801VS3 64113 64801VS －
C-64200VS3 － 64200VS
C-64210VS3 － 64210VS
１２００Ｗ CA-74801VS3 74113 74801VS －
CA-74802VS3 74802VS －
C-74200VS3 － 74200VS
C-74209VS3 － 74209VS
C-74210VS3 － 74210VS
２６ｋＨｚ ６００Ｗ CA-6353VS3 63113 6353VS －
CA-6353VS3 6359VS －
C-6356VS3 － 6356VS
１２００Ｗ CA-7359VS3 73113 7359VS －
C-7356VS3 － 7356VS
CA-73209VS3 － 73209VS

■フェニックスⅢ発振器仕様


発振器型式 フェニックスⅢ?。常福際z フェニックスⅢ?。玻叮際z
64113型 74113型 63113型 73113型
*大出力 ６００Ｗ １２００Ｗ ６００Ｗ １２００Ｗ
周波數(shù) ３８ｋＨｚ±１５％ ２６ｋＨｚ±１５％
発振モード 周波數(shù)制御／単周波発振／スイーブ発振
電源電圧 ＡＣ２００Ｖ，２０８Ｖ，２２０Ｖ，２３０Ｖ，２４０Ｖ切替式
電源電流 ６Ａ １０Ａ ６Ａ １０Ａ
外形寸法
(W×D×Hmm) 		３５０×４４０×１６５

■フェニックスⅢ用標準振動子


投込振動子
型式 		フェニックスⅢ　３８ｋHz フェニックスⅢ?。玻叮際z
64200VS 64210VS 74200VS 74209VS 74210VS 6356VS 7356VS 73209VS
許容入力 ６００Ｗ １２００Ｗ ６００Ｗ １２００Ｗ
周波數(shù) ３８ｋＨｚ ２６ｋＨｚ
外形寸法
(W×D×Hmm) 		320X
220X80 		450X
245X80 		380X
355X80 		500X
280X80 		480X
450X80 		360X
220X90 		410X
390X90 		500X
280X90

■フェニックスⅢ用標準洗浄槽


洗浄槽型式 フェニックスⅢ　３８ｋHz フェニックスⅢ?。玻叮際z
64801VS 74801VS 74802VS 6353VS 6359VS 7359VS
許容入力 ６００Ｗ １２００Ｗ ６００Ｗ １２００Ｗ
共振周波數(shù) ３８ｋＨｚ ２６ｋＨｚ
外形寸法
(W×D×Hmm) 		３７０×２７０
×４０２ 		４３０×４０５
×４０２ 		５５０×５２０
×４５２ 		３７０×２７０
×４０２ 		４８０×３４０
×４０２ 		４５０×４３０
×４０２
槽深さ（Hmm) ２４７ ２４７ ３００ ２４７ ２４７ ２４７
組合せ方法：投込振動子、洗浄槽、振動板は、発振器の出力および作動周波數(shù)と同じ値の許容入力/共振周波數(shù)のものと組み合わせてください。

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