HONDA本多電子/分離式清洗機(jī)/BM發(fā)振器
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產(chǎn)品名稱:
HONDA本多電子/分離式清洗機(jī)/BM發(fā)振器
產(chǎn)品型號(hào):
W-357BM-600
產(chǎn)品廠商:
巖瀨商事
產(chǎn)品文檔:
無相關(guān)文檔
簡單介紹
HONDA本多電子/分離式清洗機(jī)/BM發(fā)振器，該產(chǎn)品由一個(gè)發(fā)振器和一個(gè)換能器單元組成。用于清洗半導(dǎo)體晶圓和掩模的高頻清洗機(jī)，根據(jù)不同的目的，可以進(jìn)行批量清洗和單晶硅清洗。
HONDA本多電子/分離式清洗機(jī)/BM發(fā)振器
的詳細(xì)介紹
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BM系列發(fā)振器參數(shù)/類型
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W-357BM-600
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發(fā)振方式
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單頻振蕩
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額定輸出
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600W
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輸出變量范圍
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100W~600W
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標(biāo)稱振蕩頻率
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1MHｚ
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電源輸入
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AC200V?240V
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單相 50/60Hz 1200VA
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顯示
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VFD（熒光顯示管）16個(gè)字符×2行
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外接界面
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模擬輸出
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4-20mA電流輸出
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觸點(diǎn)輸出
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3點(diǎn) 報(bào)警輸出、振蕩檢測輸出、電源接通輸出
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外部驅(qū)動(dòng)器輸入
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2點(diǎn) 傳感器輸入，遠(yuǎn)程輸入
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RS485通信
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MODBUS®協(xié)議，RTU模式*1
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外部尺寸（不包括凸出部分，包括橡膠腳）
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220×360×143
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WxDxHmm
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質(zhì)量
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5kg
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●周圍工作環(huán)境：溫度：5~40℃，濕度：5~80%（無凝露）
●電源線長度：3米
