FUJI富士工業(yè) CMP化學(xué)產(chǎn)品專用多組分濃度計(jì) FUD-1 Model-53
多組分濃度計(jì)特點(diǎn) 可以實(shí)時(shí)測(cè)量三種成分中兩種的濃度模擬DC4-20mA（2線）和數(shù)字RS232C是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。 標(biāo)準(zhǔn)配備測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出 標(biāo)準(zhǔn)配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示 小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產(chǎn)線上。 優(yōu)點(diǎn) 可實(shí)現(xiàn)高精度連續(xù)測(cè)量 免維護(hù)，無(wú)需定期調(diào)整或校準(zhǔn) 安裝方便，安裝過(guò)程中無(wú)需進(jìn)行各種調(diào)整 通過(guò)實(shí)時(shí)輸出輕松反饋流程
目的 CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度管理等。 清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等） 蝕刻過(guò)程中蝕刻液濃度控制（TMAH+抗蝕劑、TMAH+Si等）
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